第一熱研真空微氧分析儀/氧氣分析儀
Daiichi Nekken TB-IIF-VE Vacuum Trace oxygen analyzer
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Daiichi Nekken TB-IIF-VE 真空微氧分析儀/氧氣分析儀,利用氧化鋯電極量測氧氣分壓的原理,設計用來量測密閉腔體或真空爐在正壓(2atm)到真空(10-7 Torr)下微量氧氣(ppm Trace Oxygen / 1~10-30 atm Ultra Trace Oxygen)氧氣分壓,也可以量測惰性氣體中的微氧或低氧氧氣濃度。 | |
量測範圍可依需求搭配 ① C-28CVE 控制器(適用於0.1ppm-100%範圍量測) ② C-48VE 控制器(適用於10^-30atm-0.1ppm-100%全域範圍量測) |
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架構簡單,容易安裝維修。內置過濾器,可延長感測器使用壽命。 | |
應用在半導體、面板、生醫產業製程設備上,也可以應用在工業上烤箱、鍋爐、煅燒熔爐、焚化爐、鋼加熱爐、玻璃熔化爐、陶器粉末冶金 爐、及各種燃燒廢氣。 | |
取樣流量:0.5 L/min ~ 5 L/min。 | |
取樣溫度最高可達300℃ |
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氧化鋯氧氣分析儀原理 |
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將氧化鋯陶磁加熱後,氧化鋯陶磁會形成電極,氧離子可以穿透氧化鋯陶磁。若是氧化鋯陶磁的內側與外側有不同濃度氣體,在氧化鋯陶磁兩側就會形成電位差。將氧化鋯電極內側按觸空氣當作參考基準,外側接觸待測氣體,就可以經由量測電極內外側電位差來量測氧氣濃度。
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